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	Adaptive Sliding Mode Control for Magnetic Suspension Short-Stroke Stage in a Reticle Stage (CPCI-S收录)
	Xia, Bizhong[1]; Wu, Shuang[1]; Tian, Yong[1]; Yang, Kaiming[2]; Li, Xin[2]
关键词	external disturbances adaptive sliding mode control tracking accuracy magnetic suspension short-stroke stage
URL标识	查看原文
内容类型	会议
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2042934
专题	华南理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Xia, Bizhong[1],Wu, Shuang[1],Tian, Yong[1],等.Adaptive Sliding Mode Control for Magnetic Suspension Short-Stroke Stage in a Reticle Stage (CPCI-S收录).

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