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	工艺参数对电弧离子镀TiCN薄膜力学性能的影响
	刘恋; 代明江; 石倩; 林松盛; 侯惠君; 韦春贝; 李洪; 苏一凡; 郭朝乾
关键词	电弧离子镀 TICN 工艺参数 硬度
会议地点	中国广东惠州
URL标识	查看原文
内容类型	会议
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2037555
专题	华南理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘恋,代明江,石倩,等.工艺参数对电弧离子镀TiCN薄膜力学性能的影响.

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