CORC  > 四川大学
基于人机工程学的步进式投影光刻机外观设计思考
陈韵竹; 蒲小琼; 魏晓霞
刊名机械
2016
卷号第1期页码:69-73
关键词步进式投影光刻机 外观设计 人机工程学
ISSN号1006-0316
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2001086
专题四川大学
作者单位1.四川大学锦江学院土木工程学院
2.四川大学制造科学与工程学院
推荐引用方式
GB/T 7714
陈韵竹,蒲小琼,魏晓霞. 基于人机工程学的步进式投影光刻机外观设计思考[J]. 机械,2016,第1期:69-73.
APA 陈韵竹,蒲小琼,&魏晓霞.(2016).基于人机工程学的步进式投影光刻机外观设计思考.机械,第1期,69-73.
MLA 陈韵竹,et al."基于人机工程学的步进式投影光刻机外观设计思考".机械 第1期(2016):69-73.
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