YAG激光晶化多晶硅 | |
刘建平; 王海文; 李娟; 张德坤; 赵淑云; 吴春亚; 熊绍珍; 张丽珠 | |
刊名 | 半导体学报
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2005 | |
卷号 | 第26卷页码:1572-1576 |
关键词 | YAG脉冲激光 激光晶化 微晶硅 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1916277 |
专题 | 南开大学 |
作者单位 | 1.天津机电职业技术学院 2.南开大学光电子所 天津 3.天津市薄膜光电子器件与技术重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘建平,王海文,李娟,等. YAG激光晶化多晶硅[J]. 半导体学报,2005,第26卷:1572-1576. |
APA | 刘建平.,王海文.,李娟.,张德坤.,赵淑云.,...&张丽珠.(2005).YAG激光晶化多晶硅.半导体学报,第26卷,1572-1576. |
MLA | 刘建平,et al."YAG激光晶化多晶硅".半导体学报 第26卷(2005):1572-1576. |
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