| YAG激光晶化多晶硅 | |
| 刘建平; 王海文; 李娟; 张德坤; 赵淑云; 吴春亚; 熊绍珍; 张丽珠 | |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 2005 | |
| 卷号 | 第26卷页码:1572-1576 |
| 关键词 | YAG脉冲激光 激光晶化 微晶硅 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1916277 |
| 专题 | 南开大学 |
| 作者单位 | 1.天津机电职业技术学院 2.南开大学光电子所 天津 3.天津市薄膜光电子器件与技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘建平,王海文,李娟,等. YAG激光晶化多晶硅[J]. 半导体学报,2005,第26卷:1572-1576. |
| APA | 刘建平.,王海文.,李娟.,张德坤.,赵淑云.,...&张丽珠.(2005).YAG激光晶化多晶硅.半导体学报,第26卷,1572-1576. |
| MLA | 刘建平,et al."YAG激光晶化多晶硅".半导体学报 第26卷(2005):1572-1576. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论