| 大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究 | |
| 赵淑云; 吴春亚; 刘召军; 李学冬; 王中; 孟志国; 熊绍珍; 张芳 | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2006 | |
| 卷号 | 第55卷页码:6095-6100 |
| 关键词 | 金属诱导晶化 化学源 多晶硅 薄膜晶体管 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1889998 |
| 专题 | 南开大学 |
| 作者单位 | 1.天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室 2.科技部高技术研究发展中心 北京 （100044） 3.南开大学光电子所 天津 （300071） 4.教育部光电子信息科学与技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵淑云,吴春亚,刘召军,等. 大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究[J]. 物理学报,2006,第55卷:6095-6100. |
| APA | 赵淑云.,吴春亚.,刘召军.,李学冬.,王中.,...&张芳.(2006).大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究.物理学报,第55卷,6095-6100. |
| MLA | 赵淑云,et al."大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究".物理学报 第55卷(2006):6095-6100. |
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