| 热丝法氢处理多晶硅锗薄膜 | |
| 张建军; 胡增鑫; 谷士斌; 赵颖; 耿新华 | |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 第28卷页码:317-322 |
| 关键词 | 热丝法 氢处理 多晶硅锗 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1887427 |
| 专题 | 南开大学 |
| 作者单位 | 南开大学光电子研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津,300071 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张建军,胡增鑫,谷士斌,等. 热丝法氢处理多晶硅锗薄膜[J]. 半导体学报,2007,第28卷:317-322. |
| APA | 张建军,胡增鑫,谷士斌,赵颖,&耿新华.(2007).热丝法氢处理多晶硅锗薄膜.半导体学报,第28卷,317-322. |
| MLA | 张建军,et al."热丝法氢处理多晶硅锗薄膜".半导体学报 第28卷(2007):317-322. |
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