| 氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究 | |
| 王培录; 刘仲阳; 郑思孝; 廖小东; 杨朝文; 唐阿友; 师勉恭; 杨百方; 缪竞威 | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2001 | |
| 卷号 | 第50卷页码:P860-865 |
| 关键词 | 氮团簇离子注入 表面特性 硅（111） 椭偏仪 傅氏变换红外吸收谱 X射线光电子能谱 原子力显微镜 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1876989 |
| 专题 | 四川大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王培录,刘仲阳,郑思孝,等. 氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究[J]. 物理学报,2001,第50卷:P860-865. |
| APA | 王培录.,刘仲阳.,郑思孝.,廖小东.,杨朝文.,...&缪竞威.(2001).氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究.物理学报,第50卷,P860-865. |
| MLA | 王培录,et al."氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究".物理学报 第50卷(2001):P860-865. |
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