| 高精度数字式光学膜厚监控系统 | |
| 鞠兵; 马孜; 蔡邦维 | |
| 刊名 | 激光技术
 |
| 2006 | |
| 卷号 | 第3期页码:P283 |
| 关键词 | 薄膜 光学膜厚监控 数字式锁相放大器 精度 信噪比 |
| ISSN号 | 1001-3806 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1874667 |
| 专题 | 四川大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鞠兵,马孜,蔡邦维. 高精度数字式光学膜厚监控系统[J]. 激光技术,2006,第3期:P283. |
| APA | 鞠兵,马孜,&蔡邦维.(2006).高精度数字式光学膜厚监控系统.激光技术,第3期,P283. |
| MLA | 鞠兵,et al."高精度数字式光学膜厚监控系统".激光技术 第3期(2006):P283. |
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