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	一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法
	兀伟; 任梦昕; 皮彪; 蔡卫; 张心正; 许京军
权利人	南开大学
URL标识	查看原文
申请日期	2015
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1853523
专题	南开大学
作者单位	00071天津市卫津路94号南开大学物理科学学院
推荐引用方式 GB/T 7714	兀伟,任梦昕,皮彪,等. 一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法.

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