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	非平衡磁控溅射方法沉积掺铒、镱铒共掺Al2O3薄膜
	李成仁; 李淑凤; 宋昌烈; 姜春华; 邱红; 宋琦
关键词	非平衡磁控溅射 掺铒/镱铒共掺薄膜 光波导放大器
资助机构	辽宁师范大学
内容类型	成果
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1846784
专题	辽宁师范大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李成仁,李淑凤,宋昌烈,等. 非平衡磁控溅射方法沉积掺铒、镱铒共掺Al2O3薄膜. .

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