| 高k介质栅材料电子辐照下的红外研究 | |
| 林巍; 马瑶; 石瑞英; 傅廷; 龚敏 | |
| 刊名 | 光散射学报
 |
| 2018 | |
| 卷号 | 第4期页码:379-383 |
| 关键词 | 电子辐照 高k介质 FTIR |
| ISSN号 | 1004-5929 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1820516 |
| 专题 | 四川大学 |
| 作者单位 | 四川大学物理科学与技术学院微电子技术四川省重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林巍,马瑶,石瑞英,等. 高k介质栅材料电子辐照下的红外研究[J]. 光散射学报,2018,第4期:379-383. |
| APA | 林巍,马瑶,石瑞英,傅廷,&龚敏.(2018).高k介质栅材料电子辐照下的红外研究.光散射学报,第4期,379-383. |
| MLA | 林巍,et al."高k介质栅材料电子辐照下的红外研究".光散射学报 第4期(2018):379-383. |
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