阳极场辅磁控溅射镀膜装置 | |
张斌![]() ![]() ![]() ![]() | |
2018-06-12 | |
著作权人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
专利号 | ZL201510704469.8 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/24532] ![]() |
专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
作者单位 | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张斌,张俊彦,高凯雄,等. 阳极场辅磁控溅射镀膜装置. ZL201510704469.8. 2018-06-12. |
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