Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究

doi:10.16078/j.tribology.2017.03.005

CORC > 兰州化学物理研究所 > 中国科学院兰州化学物理研究所 > 固体润滑国家重点实验室

	Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究
	韩熙 1,2; 郑建云1,3 ; 张帅拓 1; 刘金玉 1,2; 郝俊英1
刊名	摩擦学学报
	2017
卷号	37 期号:3 页码:310-317
关键词	类金刚石薄膜 Al掺杂 Sp3结构水介质 Dlc Films Al-doping Sp3-c Water
ISSN号	1004-0595
DOI	10.16078/j.tribology.2017.03.005
英文摘要	采用磁控溅射技术，以Al为溅射靶材，甲烷为溅射气体，在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC). 分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响，并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为. 结果表明：Al掺杂使得薄膜中sp³-C的生长受到抑制，sp²-C增加，表面吸附水分子能力变强，在水介质摩擦过程中的剪切阻力变小，从而使得摩擦磨损减小. 通过调整射频功率可以对薄膜中Al含量进行调控，在最优Al含量时，Al-DLC在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能.
学科主题	材料科学与物理化学
资助项目	空间润滑材料研究组
语种	中文
资助机构	国家重点基础研究发展规划项目(973)(2013CB632302);国家自然科学基金项目(51375471);青岛市自主创新计划(16-5-1-97-jch)
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.licp.ac.cn/handle/362003/22554]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室兰州化学物理研究所_青岛研发中心/青岛市资源化学与新材料研究中心
通讯作者	郑建云; 郝俊英
作者单位	1.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州 730000 2.中国科学院大学，北京 100049 3.青岛市资源化学与新材料研究中心，山东青岛 266000
推荐引用方式 GB/T 7714	韩熙,郑建云,张帅拓,等. Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报,2017,37(3):310-317.
APA	韩熙,郑建云,张帅拓,刘金玉,&郝俊英.(2017).Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究.摩擦学学报,37(3),310-317.
MLA	韩熙,et al."Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究".摩擦学学报 37.3(2017):310-317.