空间分束法消除椭偏测量背反误差

	空间分束法消除椭偏测量背反误差
	周明; 陈刚; 刘定权
刊名	光学学报
	2013
卷号	33 期号:4
关键词	薄膜背反椭偏法光学常数
英文摘要	在探索空间分束法消除椭偏测试中背反杂光干扰的过程中,发现该方案能够使光束在待测样品前表面聚焦,后表面发散,发散的背反光将无法进入到探测器中,从而消除背反光的影响。选用石英玻璃和氧化铌单层膜为实验样品,分为3组,分别采用直接测量、背部打磨和空间分束三种测量模式。实验结果表明,样品未经处理情况下,不同角度直接测量得到石英玻璃折射率值差别较大,经过背部打磨后不同角度下得到石英玻璃折射率趋向一致,而采用空间光学分束处理后,石英玻璃折射率在不同角度下测试获得相同的数据。最后采用空间分束法对氧化铌单层膜进行椭偏测量,获得了较好的拟合数据。
学科主题	红外探测材料与器件
公开日期	2014-11-05
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.1.142/handle/181331/7572]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式 GB/T 7714	周明,陈刚,刘定权. 空间分束法消除椭偏测量背反误差[J]. 光学学报,2013,33(4).
APA	周明,陈刚,&刘定权.(2013).空间分束法消除椭偏测量背反误差.光学学报,33(4).
MLA	周明,et al."空间分束法消除椭偏测量背反误差".光学学报 33.4(2013).