拼接式反射镜共相误差检测
郑彬; 陆培芬; 陈永和; 傅雨田
刊名光学学报
2017
期号11页码:155-162
关键词测量 圆孔衍射 共相检测 拼接镜面 合成孔径系统
英文摘要基于圆孔衍射理论,设计了一套拼接式反射镜的共相误差光学检测系统,并采用双波长窄带共相算法实现对合成孔径拼接镜的共相检测。方案中设计了圆孔掩模板、相位板和微棱镜阵列,通过数值仿真得到子镜间存在一系列台阶差时的圆孔衍射模板图样,再将待测图样与模板图样进行相关匹配,获得当前子镜间存在的台阶差。在将检测方案应用于拼接镜检测之前,通过相位板在光路中引入已知量相位差进行模拟实验,对衍射图样进行采样和匹配;实验结果验证了方案的可行性,可实现对合成孔径拼接面进行较高精度的共相检测。
内容类型期刊论文
源URL[http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12203]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
作者单位中国科学院上海技术物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
郑彬,陆培芬,陈永和,等. 拼接式反射镜共相误差检测[J]. 光学学报,2017(11):155-162.
APA 郑彬,陆培芬,陈永和,&傅雨田.(2017).拼接式反射镜共相误差检测.光学学报(11),155-162.
MLA 郑彬,et al."拼接式反射镜共相误差检测".光学学报 .11(2017):155-162.
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