硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征

doi:10.3969/j.issn.1672-8785.2017.02.001

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	硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征
	孙常鸿; 张鹏; 张天宁; 陈鑫; 叶振华
刊名	红外
	2017
期号	2 页码:1-6
关键词	原子层沉积硫化锌薄膜
DOI	10.3969/j.issn.1672-8785.2017.02.001
英文摘要	为满足硫化锌(ZnS)薄膜在光学薄膜领域进一步应用的要求,基于原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术在130℃温度下以二乙基锌(DEZ)和硫化氢(H2S)为反应源,在砷化镓(GaAs)衬底表面沉积了ZnS薄膜.用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)分析了样品的表面形貌和膜界面特性,用X射线衍射仪(X-rayDiffraction,XRD)分析了薄膜的结构特性,并通过X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS)分析了薄膜的化学成分.研究了厚度对薄膜结构和形貌的影响.结果表明,得到的ZnS薄膜为多晶结构,薄膜的厚度随循环数线性增加,速率为1.45(A)/cycle.对在75℃温度下烘烤48 h后的薄膜进行了XPS分析,得出的Zn/S比为1.07:1,表明烘烤除去了薄膜中残存的H2S.以较短生长时间得到的较薄的薄膜具有更好的表面平整度和更致密的结构.
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12199]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
作者单位	中国科学院上海技术物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	孙常鸿,张鹏,张天宁,等. 硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征[J]. 红外,2017(2):1-6.
APA	孙常鸿,张鹏,张天宁,陈鑫,&叶振华.(2017).硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征.红外(2),1-6.
MLA	孙常鸿,et al."硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征".红外 .2(2017):1-6.