离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响

	离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响
	冯毅东; 秦杨; 于天燕
刊名	激光与光电子学进展
	2017
期号	10 页码:463-468
关键词	薄膜光学特性离子束辅助沉积硫化锌薄膜非均匀性折射率
英文摘要	对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜制备和设计的难度,尤其是对多层膜系的制备造成了很大的不确定性。研究结果为红外光学ZnS薄膜的研制提供了重要参考。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12195]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
作者单位	中国科学院上海技术物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	冯毅东,秦杨,于天燕. 离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响[J]. 激光与光电子学进展,2017(10):463-468.
APA	冯毅东,秦杨,&于天燕.(2017).离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响.激光与光电子学进展(10),463-468.
MLA	冯毅东,et al."离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响".激光与光电子学进展 .10(2017):463-468.