一种用于分置式杜瓦排气的双温区烘烤装置及实现方法
1 张磊 2 俞君 3曾智江 4王小坤 5孙闻 6 李雪
2015-09-22
著作权人中国科学院上海技术物理研究所
专利号201510607628.2
国家中国
文献子类发明
公开日期2017-03-15
状态授权
内容类型专利
源URL[http://202.127.2.71:8080/handle/181331/11645]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
作者单位中国科学院上海技术物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
1 张磊 2 俞君 3曾智江 4王小坤 5孙闻 6 李雪. 一种用于分置式杜瓦排气的双温区烘烤装置及实现方法. 201510607628.2. 2015-09-22.
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