| 题名 | 超薄Ag膜特性和宽光谱分色片研究 |
| 作者 | 赵培 |
| 答辩日期 | 2008-01-15 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 严义埙 |
| 关键词 | 超薄ag膜 光学常数 宽光谱分色片 Ito薄膜 |
| 学位专业 | 物理电子学 |
| 英文摘要 | 介质/金属/介质型宽光谱分色片具有透射可见近红外波段、反射中远红外波段的性质，被广泛应用在航空航天多光谱遥感仪器中。由于超薄Ag膜具有优良的性质，所以超薄Ag膜是制备宽光谱分色片的首选材料。本论文详细研究了超薄Ag膜（厚度十几纳米或几个纳米左右）的光学性质、宽光谱分色片光学特性与膜层参数的关系，并报道了宽光谱分色片的设计方法和制备结果。使用热蒸发与溅射两种方法制备了不同厚度的超薄Ag膜。利用扫描电镜、原子力显微镜、光谱分析、四探针电阻仪以及X射线衍射方法对超薄Ag膜的表面结构、表面电阻、光学性质以及结晶结构进行了研究。利用光谱反演方法确定了不同厚度超薄Ag膜的光学常数，并对光学性质的变化进行了综合讨论。研究表明，3.8 nm～7.8 nm厚度范围内的超薄Ag膜处在网状薄膜阶段，其性质会随厚度发生急剧变化。超薄Ag膜的光学常数要偏离体材料Ag的值，折射率增大而消光系数降低。超薄Ag膜光学常数的变化是由于厚度减小造成自由电子碰撞频率增大的结果。另外，超薄Ag膜中的孔洞被相邻介质填充也是光学常数变化的原因。 利用对称膜系等效理论分析了膜层参数对宽光谱分色片光学特性的影响，并在此基础上提出了两种新的设计方法。系统研究了制备条件对超薄Ag膜和宽光谱分色片的影响。按照用于新一代多光谱遥感仪器的XXX扫描成像仪和XXX扫描辐射计的任务指标设计制备了宽光谱分色片。测试结果表明，分色片性能满足设计指标。论文最后部分对ITO薄膜做了初步实验研究。结果表明，作为宽光谱分色片使用，ITO薄膜是一种很有潜力的材料。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-08-22 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4820]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵培. 超薄Ag膜特性和宽光谱分色片研究[D]. 中国科学院研究生院. 2008. |
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