| 题名 | Cd1-xZnxTe衬底组分的研究 |
| 作者 | 涂步华 |
| 答辩日期 | 2006-05-25 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 杨建荣 |
| 关键词 | Cdznte 红外透射光谱 X-ray衍射 组分 微沉淀 位错腐蚀坑 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | Hg1-yCdyTe（MCT）薄膜是目前应用最为广泛的红外焦平面探测器材料，外延材料的晶体质量很大程度上依赖于外延层和衬底材料的晶格匹配程度。由于HgCdTe外延材料组分控制和组分均匀性均可做的非常好，因此，精确测量CdZnTe衬底的Zn组分及均匀性分布对控制HgCdTe外延材料的质量来说显得特别重要。本论文的研究工作就是围绕CdZnTe衬底材料的组分特性展开的。高分辨率X-ray衍射是精确测量晶格常数和Zn组分的有效方法，但不适合作为常规测试技术。在常规组分测试技术中，红外透射光谱法测定CdZnTe组分的技术已被广泛应用；但研究表明现有的红外透射光谱测定CdZnTe材料组分的方法存在较大的误差，在对原有测试技术的优缺点进行分析的基础上，提出了一种新的测试评价方法。X-ray测试技术被用来对材料组分与光谱截止波长关系中的系数进行标定，所获得的经验公式（SITP经验公式）具有较高的测量精度，其组分测量值和X-ray方法组分测量值的差异一般小于±0.2％，能够满足±0.3％组分晶格匹配的要求。应用SITP经验公式详细地测定了晶体生长过程中CdZnTe锭条和衬底的组分分布，测试结果显示垂直Bridgman法生长的CdZnTe晶体溶质分布服从正常分凝规律，组分分布呈单调下降变化，但在晶体头部出现一段反常的组分分凝，分析表明这是初始生长时溶液过冷度过大导致生长速率过快所致。通过对锭条中晶片组分面分布的测试分析，为提高衬底组分均匀性控制水平提供了参考依据。本文最后采用红外透射光谱测量面分布技术对停电自然降温得到直径为50mm CdZnTe材料固液界面上的Zn组分分布进行了研究和探讨，并且利用X-Ray测试进一步准确判断了固液界面的位置。此外，在对组分突变区域材料缺陷的研究中，意外发现了CdZnTe材料生长过程中缺陷形成的机理，这将对我们在工艺上抑制这类缺陷的产生具有重要指导意义。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-07-11 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4562]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 涂步华. Cd1-xZnxTe衬底组分的研究[D]. 中国科学院研究生院. 2006. |
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