题名 | 紫外焦平面CMOS_TDI读出电路研制 |
作者 | 谢文青 |
答辩日期 | 2005-06-08 |
文献子类 | 硕士 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
导师 | 方家熊 |
关键词 | 紫外焦平面 读出电路 时间延迟积分(Tdi) Cmos Bbd |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
英文摘要 | 在多数的紫外技术应用中,目标的紫外辐射非常微弱,探测器的光生电流非常小,通常为nA甚至pA量级。时间延迟积分(TDI)技术是提高输出信号信噪比的一种十分有效的方法,对于弱信号应用的扫描型线列紫外焦平面具有重要意义,采用高阶TDI电路,可以预期获得较高的信噪比,提高紫外焦平面的性能。随着Si_CMOS集成电路工艺的发展和进一步完善,读出电路正逐步由基于CCD工艺向基于CMOS工艺的方向发展。 本文对用CMOS工艺实现时间延迟积分功能的可行性进行了研究。阐述了时间延迟积分的基本原理,对CMOS_TDI的实现方法进行了初步分析,采用戽链器件(BBD)实现TDI,并设计了3×9 CMOS_TDI电路。具体分析了BBD_TDI电路的实现原理,讨论了读出电路的一些基本性能,采用IC设计软件Cadence对电路进行仿真,确定电路中器件的设计参数,并证实了BBD实现TDI的可行性。设计的电路在上华0.6μm双层多晶硅双层金属 (DPDM)工艺线上得以具体实现,本文给出了版图的设计和验证方法。 将读出电路芯片和p-i-nGaN线列紫外探测器互连,测试结果表明,设计的读出电路能够完成预定的注入信号累加的功能,输出信号的信噪比有明显的提高,设计的电路很好地完成了预定的时间延迟积分功能。焦平面探测率约为10E10 cmHzE1/2/W量级。 |
学科主题 | 红外探测材料与器件 |
公开日期 | 2012-07-11 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4380] |
专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢文青. 紫外焦平面CMOS_TDI读出电路研制[D]. 中国科学院研究生院. 2005. |
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