| 题名 | 氧化钒微测辐射热计非致冷红外焦平面研制 |
| 作者 | 陈永平 |
| 答辩日期 | 2007-06-04 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 梁平治 |
| 关键词 | 非致冷焦平面 微测辐射热计 氧化钒 微机械加工 Cmos读出电路 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | 微测辐射热计焦平面是一种十分重要的非致冷焦平面技术，在很多国家都得到了高度重视和发展。为自主研发这种非致冷焦平面，论文开展了焦平面设计、制作和测试等方面的研究。论文对器件结构和信号读出方法进行了研究，设计了128x1 焦平面列阵，利用现有条件完成了器件加工。氧化钒的制作采用了溅射和退火工艺。通过工艺摸索，制备出了电阻温度系数达-2.4%的氧化钒热敏薄膜，并成功应用于128x1焦平面的研制中。通过对接触电阻的测试，获得了氧化钒与Ti金属电极的比接触电阻。焦平面列阵的微机械加工采用了聚酰亚铵牺牲层工艺、PECVD介质膜技术和干法刻蚀。通过实验，摸索出了一套适合于焦平面研制用的聚酰亚铵牺牲层工艺方法和低应力复合介质膜制备方法。采用这种技术方法，研制出了平整度良好的128x1微桥探测器列阵。对器件的测试表明，器件的热导约为1x10-6W/℃，时间常数为12ms，低频工作下主要是1/f 噪声。采用两种不同的读出方式对128x1焦平面进行了性能测试与分析，结果表明，脉冲偏置方式和片上CTIA信号积分对提高器件性能起到了重要作用。单片式128x1焦平面的D*达到2.3x108 cmHz1/2/w。通过对器件设计、工艺和性能测试结果的分析，提出了进一步提高器件性能的途径。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-06-25 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4117]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈永平. 氧化钒微测辐射热计非致冷红外焦平面研制[D]. 中国科学院研究生院. 2007. |
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