题名宽角度入射、减偏振、减反射薄膜理论与工艺的研究
作者徐晓峰
答辩日期2004-04-19
文献子类博士
授予单位中国科学院研究生院
导师张凤山
关键词宽角度入射 减偏振 减反射薄膜
学位专业物理电子学
英文摘要减反射薄膜是光学薄膜设计中应用最广泛的薄膜,伴随着薄膜光学技术的不断发展,对减反射薄膜的性能指标要求越来越高。尤其是宽角度入射、减偏振、减反射薄膜这一当今薄膜光学领域的研究热点问题,不仅对其光谱透过率、反射率的要求更为严格,而且对偏振的变化也提出了新的要求。本研究课题就是针对这一薄膜光学领域的研究热点问题,通过对减反射薄膜理论的深入研究,分析了宽角度入射偏振产生的原因,并在膜系的设计中采用Rugate 膜系理论、非均匀膜系理论、以及多种材料组合的方法,运用计算机对宽角度、减偏振、减反射薄膜进行了广泛模拟设计,从而找到了一种实现减偏振、减反射薄膜的制备方法,使得光线在宽角度入射的情况下,大大提高了光谱透过率,有效地解决了减偏振问题,成功地研制出了宽角度入射减反射薄膜,并参加了国际薄膜光学会议竞赛。在研制过程中,根据理论膜系设计情况,考虑膜系实现的可能性以及成膜的难易程度和光谱范围,采用MgF2, TiO2和LaTiO3 三种材料,经过材料试验,确定出三种材料的实际折射率,并根据实际折射率进行膜系设计,利用日本光驰公司的离子辅助成膜系统OTFC-1100进行镀膜,对镀好的样品使用Lambda900 UV/VIS/NIR Spectrometer光谱仪进行测量,将实际曲线与理论曲线进行分析对比,其结果达到了设计的要求。这种宽角度入射减反射薄膜可以应用在空间工程、DVD、摄相机、数码相机上,以及可以摄相的手机上。具有广阔的应用前景。
学科主题红外探测材料与器件
公开日期2012-06-25
内容类型学位论文
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/4105]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐晓峰. 宽角度入射、减偏振、减反射薄膜理论与工艺的研究[D]. 中国科学院研究生院. 2004.
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