题名碲镉汞探测器的低频性能研究
作者张燕
答辩日期2003-04-09
文献子类博士
授予单位中国科学院研究生院
导师方家熊
关键词碲镉汞 低频性能
学位专业微电子学与固体电子学
英文摘要由于禁带宽度可调,碲镉汞能够制成探测不同波段的器件,实现红外探测的全波段覆盖。新一代遥感卫星工程对HgCdTe器件提出了更高的要求,本论文对甚长波和中波波段HgCdTe工程研发器件的一些关键问题进行研究,得到的主要结果为: 1、对HgCdTe中波小面积探测器件噪声进行了研究。提出了“边缘接触不对称MIS结构”模型,解释了工程研发的中波HgCdTe叠层器件性能1/f噪声影响的物理机制,对叠层结构的钝化和电极工艺进行了有益的探讨。 2、建立并标定了激光源小信号测量装置,对甚长波器件的信号和低频噪声进行了分析,解释了有效寿命随光强的变化关系。 3、研究了背景辐射对甚长波器件和中波器件性能的影响,提出了“临界背景通量密度”概念,确定了甚长波器件的“临界背景通量密度”范围,并推导了中波器件“临界背景通量密度”与器件有效寿命的关系。据此提出了一种工程研发芯片的新筛选规范,利用这个规范可望有效增加中间测试工序的成品率。 4、通过对工程研发中波和甚长波器件的噪声频谱研究,从实验上确认了1/f噪声与产生-复合噪声的相关性,得出比例系数与器件参数有关的结论。 5、发现了制约碲镉汞探测器性能的制约点,提出了改进意见。
学科主题红外探测材料与器件
公开日期2012-06-25
内容类型学位论文
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/4037]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
张燕. 碲镉汞探测器的低频性能研究[D]. 中国科学院研究生院. 2003.
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