II-VI族半导体材料保护侧边缘的表面抛光方法
1方维政2徐琰3孙士文4周梅华5刘从峰6涂步划7杨建荣8何力
2008
著作权人上海技术物理研究所
专利号200610026935.2
国家中国
文献子类发明
公开日期2011-07-06
申请日期2006
语种中文
状态公开
内容类型专利
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/597]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
1方维政2徐琰3孙士文4周梅华5刘从峰6涂步划7杨建荣8何力. II-VI族半导体材料保护侧边缘的表面抛光方法. 200610026935.2. 2008-01-01.
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