| 一种阴极电弧源; 一种阴极电弧源; 一种阴极电弧源; 一种阴极电弧源 | |
| 陈仁德; 汪爱英; 张栋; 柯培玲; 王丽 | |
| 2015-09-23 | |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 专利号 | CN104928632A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明所提供的阴极电弧源，包括阴极底座，所述阴极底座的内侧壁上螺纹连接有永磁块，外侧壁上通过螺丝固定有法兰板，且所述法兰板在阴极底座的外侧接装有阳极筒，其中所述阴极底座与法兰板、以及阳极筒之间相互绝缘设置；所述阳极筒在背离所述法兰板的一侧装配有连接柱，并通过该连接柱接装有阳极罩；所述阴极底座上开设有水冷内腔，并在该水冷内腔的顶壁上通过卡环连接件卡接有靶材，且所述靶材贴合于阴极底座中水冷内腔的顶壁设置；所述顶壁设为具有弹性的隔膜板，并可在水冷内腔水压的作用下发生形变以贴合靶材。本发明确保了该阴极电弧源在使用过程中对靶材的充分冷却；同时也便于对靶材的更换，提高工作效率。 |
| 公开日期 | 2015-09-23 |
| 申请日期 | 2015-07-03 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15970]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈仁德,汪爱英,张栋,等. 一种阴极电弧源, 一种阴极电弧源, 一种阴极电弧源, 一种阴极电弧源. CN104928632A. 2015-09-23. |
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