一种铜铟镓合金靶材的制备方法; 一种铜铟镓合金靶材的制备方法; 一种铜铟镓合金靶材的制备方法; 一种铜铟镓合金靶材的制备方法 | |
宋伟杰; 杨晔; 许炜 | |
2017-01-11 | |
著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
专利号 | CN106319469A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明公开了一种铜铟镓合金靶材的制备方法,采用低温制备技术,将熔点较低的单质铟和单质镓混合熔炼,其所需熔炼温度低,可有效抑制和减少铟和镓的挥发,减少铟和镓的熔炼损失,保证最终制备的靶材的组分含量达到设计要求;该制备方法操作方便、简单,有助于降低靶材的生产成本,其将单质铜粉加入到载气中,直接作为合金中铜元素的来源,载气中加入的单质铜粉的密度高于单纯的载气,可形成较高的动能,在气流撞击液流的过程中,可以实现液流的细化和分散,同时,铜粉撞击液流所形成的动能也较高,使铜易于与铟或者镓形成合金化合物,确保最终得到的合金靶材的组分及性能的均匀性,制备得到的合金靶材致密度高,晶粒尺寸小,电阻率达到要求。 |
公开日期 | 2017-01-11 |
申请日期 | 2016-10-28 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15927] ![]() |
专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋伟杰,杨晔,许炜. 一种铜铟镓合金靶材的制备方法, 一种铜铟镓合金靶材的制备方法, 一种铜铟镓合金靶材的制备方法, 一种铜铟镓合金靶材的制备方法. CN106319469A. 2017-01-11. |
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