一种液位沉降法镀膜的装置; 一种液位沉降法镀膜的装置; 一种液位沉降法镀膜的装置; 一种液位沉降法镀膜的装置 | |
宋伟杰; 袁玉磊; 张贤鹏; 鲁越晖; 张景 | |
2016-04-06 | |
著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
专利号 | CN105457844A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明提供了一种液位沉降法镀膜的装置,包括镀膜腔体,安装在镀膜腔体内的夹持工装,储液槽,将液体在镀膜腔体和储液槽之间输送的输液泵以及控制单元,所述镀膜腔体设有侧开的工件进出口以及密封所述工件进出口的密封盖;本发明的液位沉降法镀膜的装置,通过设置侧开的工件进出口解决了层高限制时超长工件的装载问题,并且整体结构简单,工件安装方便,节省安装空间。 |
公开日期 | 2016-04-06 |
申请日期 | 2015-12-24 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15727] |
专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋伟杰,袁玉磊,张贤鹏,等. 一种液位沉降法镀膜的装置, 一种液位沉降法镀膜的装置, 一种液位沉降法镀膜的装置, 一种液位沉降法镀膜的装置. CN105457844A. 2016-04-06. |
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