一种类金刚石微管及其制备方法; 一种类金刚石微管及其制备方法; 一种类金刚石微管及其制备方法; 一种类金刚石微管及其制备方法 | |
汪爱英; 焦圆; 柯培玲; 张栋; 郭鹏 | |
2016-04-13 | |
著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
专利号 | CN105483614A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明涉及一种类金刚石微管的制备方法,其包括以下步骤:⑴提供一基底,并对所述基底进行表面刻蚀处理;⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜,其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种;⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间,使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解,类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲,得到具有中空结构的类金刚石微管。本发明还提供一种类金刚石微管。 |
公开日期 | 2016-04-13 |
申请日期 | 2015-12-03 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15661] ![]() |
专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪爱英,焦圆,柯培玲,等. 一种类金刚石微管及其制备方法, 一种类金刚石微管及其制备方法, 一种类金刚石微管及其制备方法, 一种类金刚石微管及其制备方法. CN105483614A. 2016-04-13. |
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