| 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法; 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法; 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法; 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法 | |
| 汪爱英; 郭鹏; 柯培玲; 张栋; 陈仁德; 郑贺 | |
| 2016-01-13 | |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 专利号 | CN105241569A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件。该温度传感元件由基体、金属掺杂非晶碳薄膜、电极组成，金属掺杂非晶碳薄膜位于基体表面，电极位于金属掺杂非晶碳薄膜表面。与现有的温度传感元件相比，该薄膜温度传感元件的TCR值和电阻率可调控，能够同时具有高TCR值与优异机械性能及摩擦学性能，可以实现温度传感元件在恶劣环境中的应用。 |
| 公开日期 | 2016-01-13 |
| 申请日期 | 2015-09-21 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15475]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪爱英,郭鹏,柯培玲,等. 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法, 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法, 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法, 一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法. CN105241569A. 2016-01-13. |
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