| 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置; 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置; 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置; 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置 | |
| 梁凌燕; 谢玉芳; 曹鸿涛; 吴卫华; 张胜男; 王妹 | |
| 2016-07-20 | |
| 著作权人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 专利号 | CN105789284A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法和显示装置，其中薄膜晶体管包括衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层、源电极层和漏电极层。其中，沟道层为锌锡氮薄膜；锌锡氮薄膜的化学式为：Znx<-sub>Sny<-sub>Nz<-sub>；x为锌锡氮薄膜中锌元素的原子含量，y为锌锡氮薄膜中锡元素的原子含量，z为锌锡氮薄膜中氮元素的原子含量。其通过采用锌锡氮薄膜作为沟道层的薄膜晶体管除了可应用于平板显示，同时还可应用于光发射和宽光谱光电探测领域等。最终有效解决了传统的薄膜晶体管的应用较为单一，应用范围具有一定的局限性的问题。 |
| 公开日期 | 2016-07-20 |
| 申请日期 | 2016-04-12 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/15275]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁凌燕,谢玉芳,曹鸿涛,等. 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置, 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置, 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置, 薄膜晶体管及其制备方法和显示装置. CN105789284A. 2016-07-20. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论