晶片定位机构
吴燕华;  李智;  曾中明;  张宝顺;  杨辉
2017-12-01
著作权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
专利号201410172031.5
国家CN
文献子类发明
申请日期2014-04-25
语种中文
内容类型专利
源URL[http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/5820]  
专题苏州纳米技术与纳米仿生研究所_大科学装置
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
吴燕华;李智;曾中明;张宝顺;杨辉. 晶片定位机构. 201410172031.5. 2017-12-01.
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