| 椭偏仪测量超薄膜层的精度... | |
| 胡国行; 单尧; 贺洪波; 赵... | |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机... |
| 专利号 | ZL2016108524... |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 公开日期 | 2018-11-20 |
| 申请日期 | 2016-09-26 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/31734]  |
| 专题 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡国行,单尧,贺洪波,等. 椭偏仪测量超薄膜层的精度.... ZL2016108524.... |
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