紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计
赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 吴娜; 张桐
刊名光谱学与光谱分析
2017-11-15
页码3616-3620
关键词罗兰光栅 像散校正 光栅设计
DOI40E90F46A13AAC87A1E96E4D886155CF
英文摘要为了降低紫外高分辨率罗兰光栅的像散对光谱像高展宽的影响,提出了在罗兰圆上使用球面波非对称曝光设计思路。推导完全校正离焦和子午彗差的表达式,讨论了多种罗兰光栅记录结构的局限性,优选适合校正紫外高分辨率罗兰光栅的优化方法。通过全息光栅像面展宽表达式,指出像散和弧矢彗差是影响光谱像高的主要因素,并分配了两者的优化权重。利用这种优化思路,设计了工作波段110~200nm紫外高分辨率罗兰光栅,同时对比分析了传统光栅的像差系数和像高变化规律、像面结构和光谱分辨率。结果表明,和传统罗兰光栅分辨率处于同一数量级的情况下,所设计光栅光谱像高由25mm降低到1.5mm,谱面能量集中度有显著的提高。
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58672]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
赵旭龙,巴音贺希格,李文昊,等. 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计[J]. 光谱学与光谱分析,2017:3616-3620.
APA 赵旭龙,巴音贺希格,李文昊,姜岩秀,吴娜,&张桐.(2017).紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计.光谱学与光谱分析,3616-3620.
MLA 赵旭龙,et al."紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计".光谱学与光谱分析 (2017):3616-3620.
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