最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差

	最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差
	张敏; 高松涛; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江
刊名	激光与光电子学进展
	2016
页码	180-185
关键词	测量干涉检测子孔径拼接检测支撑测量误差
DOI	7602DD0CF6F9A0F1E077E69B3835B07E
英文摘要	为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最后,各子孔径面形数据减去估算出的支撑面形误差,利用拼接算法拼接出全口径面形。以全口径直接测量结果为基准进行对比实验,验证了该方法可去除支撑造成的面形误差,提高了拼接检测精度。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58386]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张敏,高松涛,苗二龙,等. 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差[J]. 激光与光电子学进展,2016:180-185.
APA	张敏,高松涛,苗二龙,隋永新,&杨怀江.(2016).最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差.激光与光电子学进展,180-185.
MLA	张敏,et al."最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差".激光与光电子学进展 (2016):180-185.