| 题名 | 平面光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析 |
| 作者 | 王芳 |
| 答辩日期 | 2008-01-16 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理所 |
| 授予地点 | 长春光学精密机械与物理所 |
| 导师 | 齐向东 |
| 关键词 | 平面光栅 衍射效率 光栅光谱仪 象差 线阵nmos光电探测器 |
| 其他题名 | Design and analysis on automatic measurement instrument for the diffraction efficiency of plane grating |
| 学位专业 | 光学 |
| 英文摘要 | 衍射效率测试仪是测量光栅衍射效率的基本工具，测试仪的品质直接影响衍射效率的测量精度。本论文结合国家“十一五”科技支撑计划重大项目——高分辨率分光器件的研制与开发，研制了一种新型平面光栅衍射效率自动测试仪。 论文主要分为三个部分。 首先，介绍衍射光栅的基本特性、主要性能指标和测试方法，以及光谱仪器的相关内容。着重阐述了光栅衍射效率定义，光栅偏振效应，伍德异常现象和初级象差理论。 第二部分，详细论述效率测试仪光学系统的设计过程。对照明系统、测量单色仪系统、后置分光计系统分别进行了设计，选择照明光源、定光栅和接收器件等主要元件，并对像元波长标定方法进行了总结和研究。 第三部分，结合光栅光谱仪的相关理论，分析仪器的测试原理；运用几何光学的象差理论和ZEMAX光学设计软件，对仪器的光学系统进行象差分析；最后分析了影响系统分辨率的因素。 分析表明，设计的新型平面光栅相对衍射效率自动测试仪系统，方案正确、可行；光学系统象差处于容限范围；光谱分辨率小于3nm，满足设计要求。测试仪装置结构紧凑，从测量原理上解决了以往自动测试仪“波长同步精度”不易保证的难题，具有很好的波长重复性，与已有文献中的自动化方案相比制造成本降低，操作简便，工作效率提高。从科研和生产的实际需要来看，是一种经济可行的方案。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 74 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.165.120//handle/181722/827]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王芳. 平面光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析[D]. 长春光学精密机械与物理所. 中国科学院长春光学精密机械与物理所. 2008. |
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