量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用

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	量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用
	匡尚奇; 梅雪峰; 谢耀
刊名	长春理工大学学报(自然科学版)
	2016-08-15
期号	4
关键词	Euv多层膜量子进化算法膜系设计
英文摘要	针对EUV多层膜的表征和设计过程中普遍采用的遗传算法(GA)存在的大种群和求解效率低的问题,本文将实数编码量子进化算法(QEA)应用于EUV多层膜的表征和宽光谱EUV多层膜的设计过程中。分别采用实数编码GA和QEA对理论仿真的EUV多层膜的X射线掠入射反射谱进行反演拟合和宽光谱EUV多层膜的反射谱进行设计,进而将QEA在EUV多层膜表征和设计方面的性能进行对比分析。分析结果表明,QEA在多层膜的表征方面具有小种群和反演求解效率高的优点,多层膜的膜厚拟合精度可达±0.1nm;在多层膜设计方面,量子进化算法同样具有小种群的优势,同时求解效率较GA算法接近,设计的多层膜反射率带宽为13~15nm,反射率可达25%。相关工作展现出QEA算法在多层膜研发方面的应用价值,为进一步工作打下基础。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58018]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	匡尚奇,梅雪峰,谢耀. 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2016(4).
APA	匡尚奇,梅雪峰,&谢耀.(2016).量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用.长春理工大学学报(自然科学版)(4).
MLA	匡尚奇,et al."量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用".长春理工大学学报(自然科学版) .4(2016).