薄镜面力矩校正在自由谐振模式下的定标计算

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	薄镜面力矩校正在自由谐振模式下的定标计算
	乔兵; 范磊; 王富国
刊名	长春理工大学学报(自然科学版)
	2016-06-15
期号	3
关键词	自由谐振主动光学薄镜面力矩校正有限元法
英文摘要	薄镜面面形的主动校正方式主要分为力校正和力矩校正两种。在技术较为成熟的力校正基础上,为丰富和完善主动支撑技术,提出利用自由谐振模式定标法分析薄镜面的力矩校正能力。首先分析了薄镜的力矩校正在自由谐振模式下的波前拟合和水平校正力的定标计算方法。然后,以一块口径400mm薄镜作为分析对象,建立了相应的有限元模型,完成了该反射镜水平校正力的定标计算。最后,针对某一工况镜面变形,求解了相应的校正系数,通过计算,校正后镜面面形残余误差为5.4nm,校正效果明显。结果表明,薄镜面的力矩主动校正是可行的,提出的自由谐振模式定标计算方法也是合理的,为进一步开展力矩主动校正技术的研究提供了一种参考。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57970]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	乔兵,范磊,王富国. 薄镜面力矩校正在自由谐振模式下的定标计算[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2016(3).
APA	乔兵,范磊,&王富国.(2016).薄镜面力矩校正在自由谐振模式下的定标计算.长春理工大学学报(自然科学版)(3).
MLA	乔兵,et al."薄镜面力矩校正在自由谐振模式下的定标计算".长春理工大学学报(自然科学版) .3(2016).