激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析

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	激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析
	郝腾; 郑立功; 张志宇; 王若秋; 国成立
刊名	光学学报
	2016
期号	10 页码:385-392
关键词	测量计算全息图激光直写标量衍射理论对准区域正交性误差
英文摘要	计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH图案的绘制精度,进而在面形检测结果中引入像散误差。为定量研究激光直写机床导轨正交误差对CGH检测结果的影响,利用标量衍射理论,建立激光直写机床导轨角度误差模型,以CGH对准区域图案为例对机床导轨正交性误差的影响进行分析。实验结果表明在机床导轨正交性误差为800μrad时的均方根(RMS)值、峰谷值(PV)值和Zernike像散系数与理论值分别相差2.26%、2.33%、1.72%,从而验证所建立误差模型的正确性。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57755]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	郝腾,郑立功,张志宇,等. 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析[J]. 光学学报,2016(10):385-392.
APA	郝腾,郑立功,张志宇,王若秋,&国成立.(2016).激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析.光学学报(10),385-392.
MLA	郝腾,et al."激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析".光学学报 .10(2016):385-392.