| 题名 | 激光精加工技术在激光调阻机中的应用研究 |
| 作者 | 宋云夺 |
| 答辩日期 | 2006-06-12 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理所 |
| 授予地点 | 长春光学精密机械与物理所 |
| 导师 | 田兴志 |
| 关键词 | 激光微调 片式电阻 精度 |
| 学位专业 | 机械制造及其自动化 |
| 英文摘要 | 摘要 研究生： 宋云夺 指导教师： 田兴志 本文综述了厚薄膜电阻微调的常用方法及其原理，重点介绍了激光微调技术在厚薄膜电阻微调中的应用，引入了薄膜电阻激光微调的理论模型，依据此模型，分析了在进行电阻微调过程中，激光参数的选择原则：为保证调阻质量，应使激光能量传递到衬底；同时，为不使衬底产生龟裂，应控制到达衬底的激光能量。并全面地阐述了激光调阻机的构成及工作原理，对有关主要单元进行了细致的设计分析，给出了设计参数。 介绍了微调电阻常用的形状以及调阻路径，总结了影响激光调阻质量和精度的各种原因，并对各种因素进行了分析，提出了改进措施，通过实验，得出了调阻质量和一些参数的关系，理论分析和实验结果可以为调阻机的调试和应用提供指导作用。 关键词：激光微调 片式电阻 精度 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 58 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.165.120//handle/181722/301]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋云夺. 激光精加工技术在激光调阻机中的应用研究[D]. 长春光学精密机械与物理所. 中国科学院长春光学精密机械与物理所. 2006. |
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