| 题名 | 激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析 |
| 作者 | 王志娟 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 导师 | 于前洋 |
| 关键词 | 激光调阻 调阻精度 刻蚀路径 调阻控制策略 单步增量 |
| 其他题名 | Study and Analyze on Resistance Relationships and Control Strategy of Laser Trimming |
| 英文摘要 | 片式电阻因其体积小、精度高、可靠性好等优点被广泛应用于许多领域，有替代传统电阻的趋势。片式电阻是通过丝网将电阻材料印刷到电阻基片上的，其阻值通常具有不大于40％的制造误差，一般采用激光调阻法对其阻值进行修调。调阻精度是衡量激光调阻性能的重要技术指标，由于我国在激光调阻方面的研究起步较晚，与国外设备相比，国产激光调阻机的调阻精度有待进一步提高。论文分析了影响激光调阻精度的因素，确定应用优化调阻控制策略的方法提高调阻精度，而优化调阻控制策略的前提是准确掌握刻蚀路径对阻值的影响，因此论文的研究内容为：“阻值与刻蚀路径的关系研究”和“调阻控制策略分析”。研究“阻值与刻蚀路径关系”的先决条件是选用准确、有效的研究方法。论文共探讨了五种研究方法：物理模型法、保角映射法、电阻细分法、数值法和实验法，通过分析这五种研究方法的优缺点及研究可行性，确定应用“电阻细分法”研究单一纵向刻蚀路径对阻值的影响，应用“数值法”研究I-cut和L-cut对阻值的影响，应用“实验法”研究单一纵向刻蚀路径、I-cut和L-cut对阻值的影响，进而得到一系列有关阻值和刻蚀路径关系的定性、定量结论，经验证，这些结论真实、可信，可以为优化调阻控制策略提供理论依据。调阻控制策略分析部分根据阻值与刻蚀路径的关系，提出了两种基于单步增量的调阻控制策略—固定纵向刻蚀长度的调阻控制策略和动态控制纵向刻蚀长度的调阻控制策略。经分析，在保持现有调阻设备硬件条件不变的前提下，这两种调阻控制策略可以提高激光调阻机的调阻精度。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 103 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.165.120//handle/181722/1967]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王志娟. 激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析[D]. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所. 2003. |
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