| 题名 | 氟化钙晶体生长及其完整性分析 |
| 作者 | 段安锋 |
| 答辩日期 | 2007-07-02 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理所 |
| 授予地点 | 长春光学精密机械与物理所 |
| 导师 | 范翊 |
| 关键词 | 晶体生长 完整性 下降法 晶体开裂 |
| 其他题名 | The Study of CaF2 Single Crystal Growth and Perfection |
| 学位专业 | 凝聚态物理 |
| 英文摘要 | 氟化钙(CaF2)作为一种光学晶体材料，在工业应用和科学研究两个方面一直都有着非常重要的地位。我们工作的出发点是想通过分析晶体完整性来寻找一种更加适合氟化钙晶体高效生长的方法，从而获得可用于光刻系统的大尺寸、高质量的紫外级氟化钙晶体。 本文介绍了CaF2 晶体的特点及其在国内外的发展现状和应用前景,分析了CaF2 晶体的结构、光学性能与晶体生长参数之间的关系，采用改进的真空坩埚下降法进行了在不同生长条件下晶体生长的实验，并深入探讨了氟化钙晶体的完整性。对于获得高质量的CaF2 晶体，选择合适的温度梯度、炉内气氛以及生长过程的稳定控制，是晶体生长过程中不可忽视的三要素。 通过优化晶体生长的各个步骤，在冷腔引入环形辅助发热体，实现了原料预处理、晶体生长和晶体退火的一体化,高效地获得了光学质量较好的CaF2 单晶体。从实验中得出最佳生长工艺条件为：在生长过程中真空度不能低于5×10-2 Pa，固液界面处轴向温度梯度为2-3℃/mm ，对应于发热体垂直高度100mm处，与之相匹配的下降速度为2-3mm/h ，径向温度梯度越小越好，晶体原位退火的最大冷却速率为20℃/h。 针对晶体开裂现象，分析了晶体产生开裂的原因，它主要是由热应力过大引起的，并总结了防止开裂的方法：生长过程要严格控制工艺条件；增加保温措施和延长退火时间。 关键词：晶体生长，完整性，下降法，晶体开裂 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 页码 | 84 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.165.120//handle/181722/189]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段安锋. 氟化钙晶体生长及其完整性分析[D]. 长春光学精密机械与物理所. 中国科学院长春光学精密机械与物理所. 2007. |
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