我国等离子体工艺研究进展 | |
吴承康![]() | |
刊名 | 物理
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1999 | |
卷号 | 28期号:7页码:388 |
关键词 | 等离子体工艺 热等离子体 非平衡等离子体 |
ISSN号 | 0379-4148 |
中文摘要 | 扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展。内容包括:热等离子体源,等离子冶金、化工、超细粉合成、喷涂;低气压非平衡等离子体源,镀膜,表面改性,等离子浸没离子注入;电晕放电,介质阻挡放电,滑动弧等及其应用。当前,各类薄膜制备和表面改性的研究工作最为活跃。 |
学科主题 | 力学 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:783454 |
公开日期 | 2007-06-15 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/17078] ![]() |
专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴承康. 我国等离子体工艺研究进展[J]. 物理,1999,28(7):388. |
APA | 吴承康.(1999).我国等离子体工艺研究进展.物理,28(7),388. |
MLA | 吴承康."我国等离子体工艺研究进展".物理 28.7(1999):388. |
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