双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构

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	双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构
	贾雁鹏; 郑美玲; 董贤子; 赵震声; 段宣明
刊名	影像科学与光化学
	2014-11-15
期号	6 页码:542-549
关键词	双光子微纳加工技术化学镀三维金属微纳米结构
英文摘要	利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构。采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15min时,所得到的镀层厚度约为130nm。对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35min时得到的镀层电阻率约为80×10-9Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10-9Ω·m的5倍。利用这种方法,我们制备了总长度为28.75μm、周期为2.93μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈数为9圈,直径为6μm,弹簧线分辨率为1.17μm。文中所述的将双光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与...
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5262]
专题	机器人与3D打印技术创新中心
作者单位	(1) 中国科学院理化技术研究所(2)中国科学院大学(3)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	贾雁鹏,郑美玲,董贤子,等. 双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构[J]. 影像科学与光化学,2014(6):542-549.
APA	贾雁鹏,郑美玲,董贤子,赵震声,&段宣明.(2014).双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构.影像科学与光化学(6),542-549.
MLA	贾雁鹏,et al."双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构".影像科学与光化学 .6(2014):542-549.