一种真空设备用可伸缩气体源装置

	一种真空设备用可伸缩气体源装置
	李昕1 ; 史浩飞1 ; 杨小东 ; 唐文新
	2018-06-05
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2017212599107
国家	中国
文献子类	实用新型
英文摘要	本实用新型提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本实用新型装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本实用新型提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。
分类号	C23c16/455(2006.01)i
申请日期	2017-09-28
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6307]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	1.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 2.重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李昕,史浩飞,杨小东,等. 一种真空设备用可伸缩气体源装置. 2017212599107. 2018-06-05.