一种石墨烯多层堆叠转移方法

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	一种石墨烯多层堆叠转移方法
	姜浩; 马金鑫; 高翾; 徐鑫; 李朝龙; 李占成; 史浩飞
	2018-05-04
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2015109967185
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及一种石墨烯多层堆叠转移方法，操作步骤为：步骤S01，在转移目标基底表面涂布一层弹性透明涂层；步骤S02，通过滚压方式将生长有石墨烯的铜箔与涂布弹性透明涂层的目标基底热压合；步骤S03，将得到压合结构继续通过滚压压紧，浸于电解质溶液中，同时加电鼓泡使石墨烯与铜箔分离并贴合转移到目标基底上；步骤S04，对转移石墨烯表面进行冲洗并吹干；步骤S05，重复步骤S02到步骤S04，在已转移石墨烯表面再次叠层转移石墨烯，直到所需石墨烯层数。本发明通过对石墨烯转移目标基底涂布弹性涂层改性，结合电化学鼓泡剥离方法，实现石墨烯快速完整转移，根据实际需求转移多层堆叠石墨烯，提高石墨烯电学性能均匀性和稳定性。
分类号	C01b32/184(2017.01)i
申请日期	2015-12-28
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5794]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	姜浩,马金鑫,高翾,等. 一种石墨烯多层堆叠转移方法. 2015109967185. 2018-05-04.