一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置

	一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置
	钟达 ; 史浩飞1,2 ; 邵丽2 ; 张鹏飞 ; 余杰
	2018-04-03
著作权人	重庆墨希科技有限公司
专利号	2014107547828
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具，下夹具为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔，凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底，上夹具为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔，孔可以穿过固定柱。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时工装装置具有结构简单，易于制造的优点。全部
分类号	C23f1/08(2006.01)i
申请日期	2014-12-11
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5670]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	1.重庆墨希科技有限公司; 2.中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	钟达,史浩飞,邵丽,等. 一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置. 2014107547828. 2018-04-03.