石墨烯的制备设备及制备方法

	石墨烯的制备设备及制备方法
	张为国; 史浩飞; 李占成; 杜春雷
	2015-11-25
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2013102168036
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明提供了一种石墨烯的制备设备及制备方法，该方法向真空度小于或等于1Torr的生长室中通入载气与碳源，利用线圈中交变电流电磁感应加热生长基体，生长石墨烯。与现有利用热传递或热辐射加热进行制备石墨烯相比，首先，本发明利用线圈中交变电流电磁感应在生长基体上产生涡旋电流，利用生长基体本身上的电流转化为热量，使得生长基体可迅速升温，同时断电后可迅速降温；其次，本发明无需对整个生长室加热，只需加热生长基体，而石墨烯是由生长基体附近碳源反应生成，因此，该方法能量利用率高；再次，本发明无需复杂而庞大的外围加热设备，系统结构简单，成本较低。
分类号	C23C16/46(2006.01)I; C01B31/04(2006.01)I
申请日期	2013-06-03
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5543]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	张为国,史浩飞,李占成,等. 石墨烯的制备设备及制备方法. 2013102168036. 2015-11-25.