一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置

	一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置
	钟达; 史浩飞; 邵丽; 张鹏飞; 余杰
	2017-05-03
著作权人	重庆墨希科技有限公司
专利号	2014107546191
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具；所述下夹具和上夹具用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱上设置有多个凹陷，用于固定下夹具和上夹具。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时生产工装装置具有结构简单，易于制造的优点。
分类号	C01b32/184(2017.01)i
申请日期	2014-12-11
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5407]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	(1)重庆墨希科技有限公司; (2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	钟达,史浩飞,邵丽,等. 一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置. 2014107546191. 2017-05-03.