一种密封微孔敞口的工艺 | |
王德强![]() ![]() ![]() ![]() | |
2017-09-29 | |
著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
专利号 | 201510687617X |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种密封微孔敞口的工艺,利用Au催化辅助化学气相沉积生长技术,在带有微米孔的Si3N4衬底上制备了ZnO纳米结构,实现表面封孔的目的。封孔过程从孔壁向孔的中心平面沉积,通过沉积的温度和时间来控制微孔表面的沉积速率,最终形成氧化锌薄膜。所述氧化锌薄膜包括由交叉生长的氧化锌纳米线、纳米片或纳米柱构成的氧化锌纳米线层,形成的纳米材料结构确定、有序、可实现高的比表面积。经封孔处理后的Si3N4可作为承载、透波和热防护材料,可用于半导体纳米材料技术领域,多形态的ZnO纳米结构易刻蚀而使后继工艺加工更方便。 |
分类号 | C04b41/85(2006.01)i |
申请日期 | 2015-10-21 |
语种 | 中文 |
状态 | 已授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5360] ![]() |
专题 | 精准医疗单分子诊断技术研究中心 微纳制造与系统集成研究中心 太赫兹技术研究中心 |
作者单位 | (1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王德强,赵越,陆文强,等. 一种密封微孔敞口的工艺. 201510687617X. 2017-09-29. |
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